F54-XY Serie

F54-XY Serie Automatisiertes Instrument zur Messung der Filmdicke (Mapping)

Mit dem fortschrittlichen Messssystem F54-XY, das auf spektraler Reflekivität basiert, lässt sich die Schichtdicke von Proben mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm mühelos mappen. Die F54-XY-200-Konfigurationen messen Proben bis zu 200 mm mit einem motorisierten X-Y-Tisch, der sich automatisch zu den festgelegten Messpositionen bewegt und so Dickenmessungen mit bis zu zwei Punkten pro Sekunde ermöglicht. Messungen von 300-mm-Wafern werden durch den zusätzlichen Hochleistungsdrehtisch in der F54-XYT-300-Konfiguration unterstützt.

Wählen Sie eines der Dutzenden von vordefinierten polaren, rechteckigen oder linearen Kartenmustern, oder erstellen Sie Ihre eigenen Kartenmuster, ohne Begrenzung der Anzahl der Messpunkte auf unserem automatischen Schichtdicken-Mapping-System. Das System unterstützt die Messung von ungemusterten und gemusterten Proben mit Hilfe von Mustererkennungssoftware.

Die verschiedenen Modelle des F54-XY unterscheiden sich in erster Linie durch die Schichtdicke und den Wellenlängenbereich. Im Allgemeinen sind kürzere Wellenlängen (z. B. F54-XY-200-UV) für die Messung dünnerer Schichten erforderlich, während längere Wellenlängen die Messung dickerer, rauerer und undurchsichtigerer Schichten ermöglichen.