Schichtdickenstandards

Alle Filmetrics Schichtdickenstandards können zertifiziert werden und sind auf primäre NIST-Standards zurückführbar.

Für weitere Informationen zu Filmetrics-Zubehör kontaktieren Sie bitte unser Filmetrics Applikationslabor - Deutschland durch Anruf +49 89 22061245 (Deutschland) oder kontaktieren Sie uns per E-Mail.

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    TS-Custom-NIST

    Kallibriert und zertifiziert eine vom Kunden bereitgestellte Probe nach NIST-Standards. Klicken Sie hier um die Applikationsnotiz zu NIST-Standards anzufordern.

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    TS-Focus-SiO2-4-3100

    SiO2 auf Si Schichtdicken-Standard mit Fokusbereich, ungefähr 3100Å dick, 4" Wafer.

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    TS-Focus-SiO2-4-10000

    SiO2 auf Si Schichtdicken-Standard mit Fokusbereich, ungefähr 10000Å dick, 4" Wafer.

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    TS-Hardcoat-4µm

    Hardcoat auf Acryl Schichtdicken-Standard, ungefähr 4µm dick, 2" Durchmesser.

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    TS-Hardcoat-Trans

    Hardcoat mit transparenter Rückseite für Transmissions-Messungen.

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    TS-Parylene-4µm

    Parylene auf Acryl Schichtdicken-Standard, ungefähr 4µm dick, 2" Durchmesser.

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    TS-Parylene-8µm

    Parylene auf Silizium Schichtdicken-Standard, ungefähr 8µm dick, 23mm x 23mm

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    TS-SiO2-4-7200

    SiO2 auf Si Schichtdicken-Standard, ungefähr 7200Å dick, 4" Wafer.

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    TS-SiO2-4-7200-NIST

    NIST-zurückführbarer TS-SiO2-4-7200.

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    TS-SiO2-6-Multi

    SiO2 auf Si Mehrfachschichtdickenstandard: 125Å, 250Å, 500Å, 1000Å, 5000Å und 10000Å (jeweils +/-10%), 6" wafer.

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    TS-SS3-SiO2-8000

    SiO2 auf Si Schichtdicken-Standard, ungefähr 8000Å dick, for SS-3 tisch.