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Schichtdickenstandards

Für weitere Informationen zu Filmetrics-Zubehör kontaktieren Sie bitte unser Filmetrics Europe GmbH Applikationslabor unter +49 89 22061245 (Deutschland) oder kontaktieren Sie uns per E-Mail.

 
TS-SiO2-6-Multi SiO2-auf-Si Mehrfachschichtdickenstandard: 125Å, 250Å, 500Å, 1000Å, 5000Å und 10000Å (jeweils +/-10%), 6’’ wafer.
 
TS-Custom-NIST Kallibriert und Zertifiziert eine vom Kunden bereitgestellte Probe nach NIST-Standards. Klicken Sie hier um die Applikationsnotiz zu NIST-Standards anzufordern.
 
TS-Focus-Si02-4-10000 Si02-auf-Si Schichtdicken-Standard mit Fokusbereich, ungefähr 10000Å dick, 4" Wafer.
 
TS-Focus-Si02-4-3100 Si02-auf-Si Schichtdicken-Standard mit Fokusbereich, ungefähr 3100Å dick, 4" Wafer.
 
TS-Hardcoat Hardcoat-auf-Acryl Schichtdicken-Standard, ungefähr 4µm dick, 2" Durchmesser.
 
TS-Hardcoat-Trans Hardcoat mit transparenter Rückseite für Transmissions-Messungen.
 
TS-Hardcoat-NIST NIST-zurückführbarer TS-Hardcoat.
 
TS-Parylene-3µm Parylene-auf-Acryl Schichtdicken-Standard, ungefähr 3µm dick, 2" Durchmesser.
 
TS-Parylene-8µm Parylene-auf-Silizium Schichtdicken-Standard, ungefähr 8µm dick, 23mm x 23mm
 
TS-Parylene-8µm-NIST NIST-zurückführbarer TS-Parylene-8µm.
 
TS-Si02-4-7200 SiO2-auf-Si Schichtdicken-Standard, ungefähr 7200Å dick, 4" Wafer.
 
TS-SiO2-4-7200-NIST NIST-zurückführbarer TS-SiO2-4-7200.