Was wir messen

Material: Alle semitransparenten Schichten, sowie alle Halbleiter (transparente und nicht-transparente). Die zu untersuchende Schicht sollte zumindest eine leicht glänzende Oberfläche besitzen.

Schichtdickenbereich Der Schichtdickenbereich, den unsere Geräte messen können, ist unter anderem materialabhängig. Als Anhaltspunkt kann man sagen, dass der Brechungsindex für Schichten, die dicker als 10nm sind, gemessen werden kann.

Einheiten Schichtdickenbereich
Minimal Maximal
Å 10 10^8
nm 1 10^7
0,01 10^5
µm 0,001 10000
µm-in 0,04 40^4
mils 0,00004 400
mm 10^-6 10
g/cm^2 10^-7 1

Der Brechungsindex kann für Schichten mit einer Dicke von über 10nm bestimmt werden (dieser Wert ist materialabhängig).

Anzahl der Schichten: Normalerweise können wir bis zu drei individuelle Schichten in einer Mehrschichtanordnung messen. Unter günstigen Bedingungen können wir eine weitaus größere Anzahl von Schichten untersuchen.

Substratmaterial: Liegt die Schicht auf einem rauen Substrat (dies schließt die meisten Metalle ein) kann im Allgemeinen der Brechungsindex der Schicht durch unsere Messungen nicht bestimmt werden. Zusätzlich können raue Substrate die minimal messbare Schichtdicke auf ca. 50 nm begrenzen.

Erforderliche Information: Wir müssen die Abfolge, Zusammensetzung und nominelle Schichtdicke von allen vorhandenen Schichten kennen, unabhängig davon, ob sie gemessen werden sollen oder nicht.

Kontaktieren Sie unsere Dünnschicht-Experten, um Ihre Anforderung in der Schichtdickenmessung kompetent zu diskutieren.

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