Vergleich: Profilometrie vs. Spektrale Reflexion

Profilometrie ist eine, mechanische Methode der Schichtdickenmessung. Sie basiert darauf, die Höhe einer Nadel zu verfolgen, die eine Stufe in der Beschichtung passiert (siehe Abbildung rechts). Der Vorteil der Profilometrie ist, dass sie auf allen festen Schichten eingesetzt werden kann, einschließlich intransparenten Schichten wie z.B. dicken Metallschichten. Teurere Profilometriesysteme können auch dazu eingesetzt werden, Oberflächenprofile zu messen. (Wenn Sie Informationen über unser kostengünstiges optisches Profilometer benötigen, klicken Sie hier.)

Allerdings hat Profilometrie auch Nachteile. Insbesondere muss eine Probe mit einem Höhenunterschied präpariert werden, der oft nicht perfekt ist (siehe Abbildung). Daraus, auch in Verbindung mit Kalibrierungsfehlern und Drift, können signifikante Fehler (5-10%) bei der Schichtdickenmessung entstehen.

Im Gegensatz dazu ist die Spektrale Reflexion (SR) eine kontaktlose Technik, die keine Probenpräparation zur Messung voraussetzt. Licht, das von der Beschichtung reflektiert wird, wird in ungefähr einer Sekunde analysiert, um die Dicke der Schicht und den Brechungsindex zu bestimmen. Auch die Schichtdickenmessung von Mehrschichtsystemen ist mit SR möglich.

Eine Zusammenfassung der Vorteile beider Methoden ist unten aufgeführt. Für mehr Informationen zur spektralen Reflexion klicken Sie bitte hier.