PARTS

Simultane Messung sowohl bei senkrechtem Lichteinfall als auch bei Lichteinfall unter einem Winkel: PARTS steht für Perpendicular & Angled Reflectance, Transmittance, & Scatterometry

Mit dem PARTS-System haben wir unsere Systemserie, die bisher bereits Reflektivität und Transmission gleichzeit misst, um Scatterometrie sowie die Messung bei nicht-senkrechtem Lichteinfall ergänzt. Das Ergebnis ist die leichte Messung von Schichtdicke, n und k von Einschichtsystemen, die ohne Modell auskommt! Auch die komplette Analyse komplexer Mehrschichtsysteme ist mit einem einzigen Mausklick möglich.

Der Analysevorteil

Die Analyse von komplexen Dünnschichtanwendungen, einschließlich Solaranwendungen und OLEDs, profitiert eindeutig von der kombinierten Messung der Reflektivität unter senkrechtem (0°) und nicht-senkreten (70°) Lichteinfall sowie der Transmission. Durch die Kenntnis von drei Größen (R0, R70 und T0) ist es leicht möglich, die drei unbekannten Größen Dicke, n und k zu bestimmen. Durch die Anwendung von Scatterometrie kann die Rauigkeit unabhängig davon gemessen werden und somit von der restlichen Analyse separiert werden.

All dies in einem robusten, verlässlichen System

Das PARTS System wird komplett mit Referenzstandards geliefert. Die geringe Standfläche und der Anschluss über USB sorgen für einen reibungslosen Aufbau. Da das System keine beweglichen Teile enthält, ist abgesehen vom Auswechseln der Lampe keine Wartung erforderlich und eine hohe Verlässlichkeit wird mit der zweijährigen Gewährleistung garantiert.

Lieferumfang:

Modellspezifikationen

*abhängig vom Schichtaufbau
Modell Schichtdickenbereich* Wellenlängenbereich
PARTS 5nm-40µm 380-1050nm
PARTS-UV 1nm-40µm 190-1100nm
PARTS-EXR 50nm-150µm 380-1700nm

Zusätzliche Vorteile:

  • Datenbank mit über 130 Materialien im Lieferumfang jedes Systems enthalten, dazu Zugang zu hunderten weiteren.
  • Applikationsingenieure sind 24 Stunden (Mo-Fr) für direkten Support verfügbar
  • Interaktiver Online-Support (Internetverbindung erforderlich)
  • Hardware Upgrade Programm