F60 Serie

Automatisches Schichtdicken-Mapping für Fertigungsumgebungen

Die Filmetrics F60-t Familie kartiert Schichtdicke und -index genauso wie unsere F50 Produkte, sie verfügt darüber hinaus über eine Reihe von Eigenschaften, die speziell für die Fertigungsumgebung vorgesehen sind. Dazu gehören ein automatisches Finden von Nuten (Notches), automatisches integriertes Baselining, ein beigefügter Messtisch mit Bewegungsverriegelung, ein industrieller Computer mit vorinstallierter Software, und der Möglichkeit der Aufrüstung für vollständige Handhabung der Wafer mit Hilfe von Robotersystemen.

Die verschiedenen F60-t Instrumente unterscheiden sich primär durch den Wellenlängenbereich. Im Allgemeinen sind kürzere Wellenlängen (z.B. F60-t-UV) für dünnere Schichten erforderlich, während längere Wellenlängen die Messung von dickeren, raueren und lichtundurchlässigeren Schichten ermöglichen.

Lieferumfang:

Modellspezifikationen

*abhängig vom Schichtaufbau
Modell Schichtdickenbereich* Wellenlängenbereich
F60-t 20nm-70µm 380-1050nm
F60-t-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-t-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-t-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-t-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-t-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-t-s980 4µm-1mm 960-1000nm
F60-t-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
F60-t-s1550 10µm-3mm 1520-1580nm
Schichtdickenbereich*

Zusätzliche Vorteile:

  • Datenbank mit über 130 Materialien im Lieferumfang jedes Systems enthalten, dazu Zugang zu hunderten weiteren.
  • Applikationsingenieure sind 24 Stunden (Mo-Fr) für direkten Support verfügbar
  • Interaktiver Online-Support (Internetverbindung erforderlich)
  • Hardware Upgrade Programm

Übliches optionales Zubehör: