F60 Serie

Automatisches Schichtdicken-Mapping für Fertigungsumgebungen

Die Filmetrics F60-t Familie kartiert Schichtdicke und -index genauso wie unsere F50 Produkte, sie verfügt darüber hinaus über eine Reihe von Eigenschaften, die speziell für die Fertigungsumgebung vorgesehen sind. Dazu gehören ein automatisches Finden von Nuten (Notches), automatisches integriertes Baselining, ein beigefügter Messtisch mit Bewegungsverriegelung, ein industrieller Computer mit vorinstallierter Software, und der Möglichkeit der Aufrüstung für vollständige Handhabung der Wafer mit Hilfe von Robotersystemen.

Die verschiedenen F60-t Instrumente unterscheiden sich primär durch den Wellenlängenbereich. Im Allgemeinen sind kürzere Wellenlängen (z.B. F60-t-UV) für dünnere Schichten erforderlich, während längere Wellenlängen die Messung von dickeren, raueren und lichtundurchlässigeren Schichten ermöglichen.