F37

Schichtdickenmessung in-line und in Echtzeit mit bis zu sieben Messpunkten mit dem F37.

Beispielschichten

Nahezu sämtliche glatten und zumindest partiell transparenten Schichten können gemessen werden. Das schließt praktisch sämtliche Halbleitermaterialien, eingeschlossen Dünnfilm-Solarzellen, ein.

Beispielschichten

MBE und MOCVD: Glatte und lichtdurchlässige, oder geringfügig asorbierende Filme können vermessen werden. Das schließt nahezu sämtliche Halbleiter, von AIGaN bis GaInAsP, ein.

Vorteile:

  • Verbessert die Produktivität deutlich
  • Niedrige Kosten - Kann sich innerhalb weniger Monaten amortisieren
  • Genau - Schichtdickenmessung besser als ±1%
  • Schnell - Messung in Sekunden
  • Nichtzerstörend - Vollständig außerhalb der Ablagerungskammer
  • Einfach zu verwenden - Intuitive Windows™ Software
  • Das "schlüsselfertige" Schichtdickenmessgerät kann innerhalb von Minuten eingerichtet werden

Modellspezifikationen

*abhängig vom Schichtaufbau
Modell Schichtdickenbereich* Wellenlängenbereich
F37-SPEC-2 15nm-100µm 380-1050nm
F37-SPEC-2-UV 3nm-40µm 190-1100nm
F37-SPEC-2-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F37-SPEC-2-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm