F30 Serie

Ein vielseitiges Tool zur Überwachung der Dünnschichtabscheidung

Messen Sie Abscheideraten, Schichtdicken, optische Konstanten (n und k) und die Uniformität von Halbleitern und dielektrischen Schichten in Echtzeit mit dem F30 System.

Beispielschichten

MBE und MOCVD: Glatte und lichtdurchlässige, oder geringfügig asorbierende Filme können vermessen werden. Das schließt nahezu sämtliche Halbleiter, von AIGaN bis GaInAsP, ein.

Vorteile:

  • Verbessert die Produktivität deutlich
  • Niedrige Kosten - Kann sich innerhalb weniger Monate amortisieren
  • Genau - Messung besser als ±1%
  • Schnell - Schichtdickenmessung in Sekunden
  • Nichtzerstörend - Vollständig außerhalb der Ablagerungskammer
  • Einfach zu verwenden - Intuitive Windows™ Software
  • Das "schlüsselfertige" Schichtdickenmessgerät kann innerhalb von Minuten eingerichtet werden

Modellspezifikationen

*abhängig vom Schichtaufbau
Modell Schichtdickenbereich* Wellenlängenbereich
F30 15nm-70µm 380-1050nm
F30-EXR 15nm - 250µm 380-1700nm
F30-NIR 100nm - 250µm 950-1700nm
F30-UV 3nm-40µm 190-1100nm
F30-UVX 3nm - 250µm 190-1700nm
F30-XT 0.2µm - 450µm 1440-1690nm

Übliches optionales Zubehör: