Siliziumwafer und -membrane

Filmetrics bietet Tabletop, Mapping und In-situ Schichtdickenmessgeräte an, die die Messung von Siliziumwafern und Membranen im Schichtdickebereich von 1nm bis 2mm ermöglichen.

Schichtdickenbereich*	Anwendung	Produktreihe
1nm - 200µm	Punktmessung	F20
0,1µm - 2mm	Punktmessung	F70-NIR
3nm - 200µm	Schichtdickenmapping	F50
0,1µm - 2mm	Schichtdickenmapping	F50-CTM-NIR
1nm - 200µm	Kassette-zu-Kassette	F60-c
100µm - 2mm	Kassette-zu-Kassette	F60-c-CTM-NIR

*Bereich ist abhängig vom Modell, des optionalen Zubehörs und dem zu messenden Material

Kontaktieren Sie unsere Dünnschichtexperten, um mit Ihnen Ihre Schichtdickemessungen bezüglich Si-Wafern und Membranen zu besprechen.

Filmetrics bietet Ihnen kostenlose Testmessungen an – Ergebnisse liegen typischerweise innerhalb von 1 – 2 Tagen vor.

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