Photolacke

Eine erfolgreiche Schichtdickenmessung von Fotolacken stellt diverse Herausforderungen an das Messgerät. Dazu gehört, den Fotolack nicht der Lichtquelle des Schichtdickemessgerätes auszusetzen, über eine Brechungsindexdatenbank zu verfügen, die die volle Bandbreite der Fotolacke abdeckt sowie damit umgehen zu können, dass der Fotolack mit zunehmender Beleuchtung den Brechungsindex ändert.

Die Messung von SU-8 und anderen dicken Fotolacken ist eine besonders wichtige Anwendung, da beim Spin-Coating, obwohl schnell und simpel, unter Umständen eine bestimmte Schichtdicke nicht erzielt werden kann. Da die Belichtungszeit von der Lackdicke abhängt, ist eine genaue Schichtdickenmessung von Nöten. Zudem können positive und negative Photolacke kombiniert werden um komplexe MEMS Strukturen zu erzeugen, sodass die Kenntnis der einzelnen Schichtdicken besonders wichtig ist.

Filmetrics bietet eine Vielzahl von Tabletop und Mapping -Lösungen für die Schichtdickenmessung von Einzelschichten, Mehrschichtsystemen und sogar freistehenden Fotolacken im Dickebereich von 3nm bis 1mm. Sämtliche Filmetrics-Schichtdickenmessgeräte messen die Schichtdicke (und den Brechungsindex) durch die genaue Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle patentierte Algorithmen ermöglichen eine „ein Klick“-Analyse, die Ergebnisse in weniger als einer Sekunde bereit stellt.