Amorphes & Polysilizium

Elementares Silizium kann sowohl in amorphen als auch kristallinen Formen vorliegen. Teilkristallines Silizium liegt zwischen beiden Extremen und wird häufig als polykristallines Silizium oder kürzer als Polysilizium bezeichnet.

Die optischen Konstanten (n und k) von amorphem Si und Polysilizium sind abhängig von der Abscheidungsmethode und müssen als Voraussetzung einer korrekten Schichtdickenmessung bestimmt werden. Ebenso müssen die Rauigkeit und der Grad der Kristallisation in der Siliziumschicht berücksichtigt werden und zusammen mit der Schichtdicke bestimmt werden.

Filmetrics Schichtdickenmessgeräte verfügen über ausgefeilte Messroutinen, die alle notwendigen Parameter der Siliziumschicht simultan messen und darstellen, und das alles mit einem einzigen Mausklick.